ГлавнаяО компании Продукция Технологии ЦеныКонтакты
Производство и разработка вакуумного оборудования
Мы в соц. сетях
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта

Написать нам

Установка вакуумного напыления Saha

Область применения: лаборатории, мелкосерийное производство.
Тип вакуумной камеры – цилиндр с возмож- ностью вертикального перемещения.
Напыление: снизу-вверх.
Оснастка: карусельный держатель подложек.
Технологические устройства: магнетроны, терморезистивные испарители.

Задать вопрос специалисту
Установка Saha
Установка вакуумного напыленияВакуумная камераУниверсальный вакуумный постВакуумная установкаВакуумные исследовательские установкиВакуумная станция
Всегда готовы помочь

Установка вакуумного напыления Saha в Москве

Установка вакуумного напыления Saha в Москве

Установка вакуумного напыления Saha предназначена для создания малогабаритного напылительного оборудования. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования в лабораториях и на мелкосерийном производстве. Ключевой особенностью данной платформы является размещение подложек и технологических устройств внутри вакуумной камеры, при котором значительно упрощается технологическое обслуживание и загрузка-выгрузка. Данное решение реализовано с помощью цилиндрической вакуумной камеры колпакового типа, перемещаемой вертикально вдоль своей оси.

Преимущества

  • Полный всесторонний доступ к напылительным устройствам и подложкам.
  • Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
  • Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
  • Использование только «сухих» вакуумных насосов: спиральный и турбомолекулярный.
  • Возможность использования нескольких технологических устройств: магнетрон, электронно-лучевая распылительная система, резистивное термическое испарение.
  • Гибкость при модернизации установки.

Опционально возможно несколько вариантов расположения подложек: на плоском горизонтальном держателе, на цилиндрической оснастке. В зависимости от расположения подложек и подложкодержателя выбирается форма и размер технологических устройств. В случае горизонтального подложкодержателя технологические устройства располагаются на нижнем фланце камеры. Напыление реализуется по схеме «снизу вверх». При размещении в цилиндрической оснастке подложки располагаются вертикально. В этом случае напыление осуществляется только планарными магнетронами размещённым вдоль оси цилиндра.

Установка вакуумного напыления Saha в Москве Установка вакуумного напыления Saha в Москве Установка вакуумного напыления Saha в Москве

Размеры вакуумной камеры зависят от размера и количества одновременно обрабатываемых подложек, а также от их расположения. В соответствие с выбранной конфигурацией диаметр вакуумной камеры может быть от 250 мм до 600 мм.

При использовании цилиндрических торцевых магнетронов возможно распыление диэлектриков в высокочастотном режиме при частоте 13,56 МГц. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.

Области применения

  • Электроника
  • Оптическое производство
  • Научные исследования
Установка вакуумного напыления Saha в Москве Установка вакуумного напыления Saha в Москве

Лабораторная напылительная установка на платформе Saha

Рис.1. Напыление по схеме «снизу-вверх». Плоские цилиндрические магнетроны.

Рис.2. Горизонтальное размещение подложек. Планарные протяжённые магнетроны.

ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовольствием проконсультируем Вас.
Наши партнеры
ООО «Рефлакс»

ООО «Рефлакс» предлагает Вам широкий ассортимент высокоэффективных и экономичных газоразрядных ламп высокого давления собственного производства

www.reflux.ru
ЗАО «ИНТЕК АНАЛИТИКА»
Поставка вакуумного и криогенного оборудования с сопутствующими услугами (расчет вакуумных
систем, пуско-наладка, сервисное обслуживание)
www.intech-group.ru
Busch Vacuum Pumps and Systems
Компания Busch Vacuum Pumps and Systems является одним из самых крупных производителей
вакуумных насосов, воздуходувок и компрессоров в мире.
www.buschvacuum.com
Контакты
ООО «Дана Инжиниринг»
Производство и разработка вакуумного оборудования
ПН-ПТ: 10:00-19:00
СБ-ВС: Выходной
111524 Россия Московская область
Москва ул. Перовская, д.1, стр.22
2019, Разработано в