Установка вакуумного напыления Saha в Москве

Магнетронное напыление Лабораторные вакуумные установки Вакуумно-сушильная установка Вакуумные установки для испытания Вакуумная установка для откачки Вакуумно плазменная установка Вакуумная установка нанесения покрытий Вакуумная напылительная установка Установка вакуумной дегазации Стационарные вакуумные установки Установка вакуумной металлизации Вакуумно-дуговая установка Технологические вакуумные установки Вакуумная печь

Вакуумная индукционная печь Вакуумные электрические печи Высокотемпературная вакуумная печь

Термовакуумные испытания

Испытания при низких температурах Испытание при высоких температурах Термоциклические испытания Климатические испытания

Вакуумные исследовательские установки

Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия Дифракция быстрых электронов Оже электронная спектроскопия

Вакуумная станция Комплектующие производства

Магнетрон Ловушка высоковакуумная Электрические вакуумные вводы Вводы вращения на манжетном уплотнителе Ионный источник многоячеечный – ускоритель с анодным слоем Испаритель низкотемпературный/ Испаритель высокотемпературный

Всегда готовы помочь

Установка вакуумного напыления Saha предназначена для создания малогабаритного напылительного оборудования. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования в лабораториях и на мелкосерийном производстве. Ключевой особенностью данной платформы является размещение подложек и технологических устройств внутри вакуумной камеры, при котором значительно упрощается технологическое обслуживание и загрузка-выгрузка. Данное решение реализовано с помощью цилиндрической вакуумной камеры колпакового типа, перемещаемой вертикально вдоль своей оси.

Установка вакуумного напыления Saha в Москве – отличный вариант для научных учреждений и небольших серийных выпусков. Этот особенный вакуумный аппарат цилиндрической формы обеспечивает вертикальный ход, что позволяет достигать однородного покрытия.

Напыление осуществляется методом снизу-вверх, что оптимизирует процесс и повышает качество. Установка Saha оснащена вращающимся держателем субстратов и современными технологическими аппаратами: магнетронными системами и терморадиоомными испарителями.

Ищете качественное решение для вакуумного напыления в Москве? Доверьтесь нашему опыту и выберите установку Saha для вашего бизнеса!

Преимущества установки вакуумного напыления Saha
Области применения установки вакуумного напыления Saha

Преимущества

Полный всесторонний доступ к напылительным устройствам и подложкам.
Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
Использование только «сухих» вакуумных насосов: спиральный и турбомолекулярный.
Возможность использования нескольких технологических устройств: магнетрон, электронно-лучевая распылительная система, резистивное термическое испарение.
Гибкость при модернизации установки.

Опционально возможно несколько вариантов расположения подложек: на плоском горизонтальном держателе, на цилиндрической оснастке. В зависимости от расположения подложек и подложкодержателя выбирается форма и размер технологических устройств. В случае горизонтального подложкодержателя технологические устройства располагаются на нижнем фланце камеры. Напыление реализуется по схеме «снизу вверх». При размещении в цилиндрической оснастке подложки располагаются вертикально. В этом случае напыление осуществляется только планарными магнетронами размещённым вдоль оси цилиндра.

Размеры вакуумной камеры зависят от размера и количества одновременно обрабатываемых подложек, а также от их расположения. В соответствие с выбранной конфигурацией диаметр вакуумной камеры может быть от 250 мм до 600 мм.

При использовании цилиндрических торцевых магнетронов возможно распыление диэлектриков в высокочастотном режиме при частоте 13,56 МГц. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.

Области применения

Электроника
Оптическое производство
Научные исследования


Лабораторная напылительная установка на платформе Saha
Рис.1. Напыление по схеме «снизу-вверх». Плоские цилиндрические магнетроны.	Рис.2. Горизонтальное размещение подложек. Планарные протяжённые магнетроны.

ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?

Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовольствием проконсультируем Вас.

8(800)222-90-33

info@danaeng.ru