ГлавнаяПродукция НовостиКонтакты
Производство и разработка вакуумных камер
Мы в соц. сетях
Наш телефон
8 (800) 222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта

Написать нам
Установка вакуумного напыления Kurchatov
Вакуумная камера Универсальный вакуумный пост Вакуумная установка Вакуумные насосы Вакуумная станция
Всегда готовы помочь

Установка вакуумного напыления Kurchatov в Москве

16 Мая 2018

Установка вакуумного напыления Kurchatov предназначена для создания высокопроизводительного напылительного оборудования. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования на в серийном и крупносерийном производстве. Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств на боковых стенках вакуумной камеры в специальных откидывающихся отсеках, при котором значительно упрощается смена мишеней и обслуживание технологических устройств. Подложки располагаются на плоском подложкодержателе, который перемещается в технологической камере по принципу конвейера. Установки на данной платформе строятся по модульному принципу: технологические и вспомогательные камеры набираются в зависимости от технологии производства.

Установка вакуумного напыления Kurchatov в Москве

 

Преимущества

  • Высокая производительность
  • Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304
  • Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки
  • Возможность использования нескольких технологических устройств: магнетрон, вакуумно-дуговой испаритель.
  • Гибкость при модернизации установки

В установках платформы Kurchatov используются магнетроны, вакуумно-дуговые испарители и ионные источники протяжённой геометрии. Катоды технологических устройств выполняются как плоскими, так и цилиндрическими.

Предусмотрен нагрев подложек на всём пути их следования: от шлюзовой камеры до конца технологической.

Габариты вакуумной камеры зависят от размера зоны равномерности напыления на подложку. В зависимости от размеров технологических устройств выбираются способы контроля и управления равномерностью напыления.

Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.

Области применения

  • машиностроение
  • декоративное производство
  • приборостроение
  • оптика
  • микроэлектроника
ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовльствием проконсультируем Вас.
Контакты
ООО «Дана Инжиниринг»
Производство и разработка вакуумных камер
ПН-ПТ: 10:00-19:00
СБ-ВС: Выходной
111524 Россия Московская область
Москва ул. Перовская, д.1, стр.22
2018, Разработано в