ГлавнаяПродукция НовостиКонтакты
Производство и разработка вакуумных камер
Мы в соц. сетях
Наш телефон
8 (800) 222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта

Написать нам

ЭЛЕКТРОННО ЛУЧЕВОЕ ИСПАРЕНИЕ В

Оборудование для электронно лучевого испарения в Москве. Доставка по всей территории Московской области Оборудование для электронно лучевого испарения предназначено для проведения экспериментов, измерений, отработки технологий в условиях форвакуума и высокого вакуума. На стенке вакуумного поста расположено окно для визуального контроля процессов внутри объёма. Дополнительные фланцы и патрубки камеры позволяют оснастить вакуумную установку необходимыми разъёмами для экспериментов: токовводы, криогенные вводы, рентгеновские окна. Задать вопрос специалисту
Электронно лучевое испарение
Вакуумная камера Универсальный вакуумный пост Вакуумная установка Вакуумные насосы Вакуумная станция
Всегда готовы помочь

Электронно лучевое испарение в Москве

Электронный луч по удельной энергетической мощности, легкости управления, эффективности и локальности нагрева превосходит все известные источники, уступая лишь лазерному излучению. Однако, в отличие от лазерного, электронный луч может иметь произвольную форму. Его преимущества также в том, что он не вносит примесей в обрабатываемый материал, может работать в агрессивной или инертной среде.

В производстве широко используется электронно-лучевые испарители, дающие возможность получения тонких пленок металлов, сплавов и диэлектриков. Хорошая фокусировка электронного пучка позволяет получать большую концентрацию мощности (до 5·108 Вт/см2) и высокую температуру, обеспечивая возможность испарения с большой скоростью даже самых тугоплавких материалов. Быстрое  перемещение нагретой зоны в результате отклонения потока электронов, регулировка и контроль мощности нагрева и скорости осаждения создают предпосылки для автоматического управления процессом. В методе эффективно реализуется автотигельное испарение материала, поэтому он обеспечивает высокую чистоту и однородность осаждения.

Принцип действия электронно-лучевого испарителя.

В электронной пушке с поверхности катода происходит эмиссия свободных электронов и их формирование под  действием ускоряющих и фокусирующих электростатических и магнитных полей в пучок, который выводится в рабочую камеру через выходное отверстие. Для подведения электронного пучка к тиглю с испаряемым материалом и обеспечения его требуемых параметров используются главным образом магнитные фокусирующие линзы и отклоняющие системы. Беспрепятственное прохождение такого пучка до объекта возможно только в высоком вакууме. Вследствие бомбардировки поверхности электронным пучком, материал нагревается до температуры, при которой происходит его испарение с требуемой скоростью. В образующийся поток помещается подложка, на которую конденсируется испаряемое вещество. Испарительное устройство дополняется средствами измерения и контроля, которые особенно важны для управления электронным пучком в процессе напыления.

Как правило, электронно-лучевой испаритель  состоит из трех основных частей: электронной пушки, отклоняющей системы и  водоохлаждаемого  тигля различной емкости. Это обеспечивает непрерывную работу без добавления испаряемого материала, который, кроме того, в расплавленном состоянии не контактирует с медными стенками тигля.

В общем случае возможно использование сформованного по размеру тигля материала (безтигельное испарение) или применение совместно со специальными тиглями порошкового материала.

Электронно-лучевой испаритель размещается в камере, где поддерживается уровень вакуума 10-4 Па, необходимый для минимизации влияния остаточного газа на эффективность прохождения электронного луча, и исключение загрязнений другими материалами структуры получаемой пленки.

ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовльствием проконсультируем Вас.
Наши партнеры
МЭЛЗ-ИНВЕСТ

Решение нестандартных инженерных задач от идеи до монтажа.

www.m-i.ru
MSH Techno

Вакуумная техника для промышленности и исследований, термическое оборудование, криогенная техника, оборудование для полупроводниковых производств, аналитическое оборудование, воздуходувки

www.msht.ru
ООО «Рефлакс»

ООО «Рефлакс» предлагает Вам широкий ассортимент высокоэффективных и экономичных газоразрядных ламп высокого давления собственного производства

www.reflux.ru
Контакты
ООО «Дана Инжиниринг»
Производство и разработка вакуумных камер
ПН-ПТ: 10:00-19:00
СБ-ВС: Выходной
111524 Россия Московская область
Москва ул. Перовская, д.1, стр.22
2018, Разработано в