Ионный источник многоячеечный в Москве
Принцип действия заключается в формировании плазмы в процессе ионизации газа в разряде в магнитном и электрическом полях, когда они скрещиваются. После этого ионы отбираются с плазмы и ускоряются электрополем. Стенки канала из металла под катодным потенциалом. В кольцевом зазоре создается радиальное поле, спадает в аноде и у апертуры.
Магнитное поле получается с поперечной компонентой, электрическое – с продольной. В скрещенных полях работает сила Лоренца, в результате чего оно дрейфует в азимут. В кольцевом зазоре образуется двойной электрический слой. Электроны в таких условиях ограничены в движении, а электрическое поле ускоряет ионы вдоль оси.
Двухлучевой источник создает 2 ионных пучка. Один из них распыляет материал мишени, другой – очищает подложки ионами и осуществляет ассистирование. Многоячеечный источник создает 21 пучок. Использовать ионный источник можно долго без его чистки. Нужно только иногда очищать апертуру от загрязнений, чтобы предотвратить искажение и дужение пучка. Для этого оборудование разбирать не понадобится.
Применение и характеристики
Многоячеечный ионный источник получил широкое применение в различных областях:
- распыление ионно-лучевое;
- распыление двойное;
- распыление реактивное;
- ассистирование при нанесении слоев с испарителями;
- распыление магнетронное;
- очистка поверхности на предварительном этапе;
- создание пленки-подложки (перемешивание);
- травление с применением химических газов.
Технические характеристики
| Анодное напряжение |
800-6000 |
| Ток заряда |
До 300 мА |
| Ток пучка |
До 250 мА |
| Энергия ионов |
300-2000 |
| Рабочее давление |
0,01-0,06 ПА |
| Диаметр мишени |
80 мм |
| Расход газа |
До 40 мл/мин |
Вы можете заказать ионный источник с ускорителем с анодным слоев, который полностью соответствует нормам безопасности в компании ООО «Дана Инжиниринг». Для этого достаточно связаться с нашим специалистом через обратную форму на сайте или по телефону 8(800)222-90-33
ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовольствием проконсультируем Вас.
