ГлавнаяО компании Продукция Технологии ЦеныКонтакты
Производство и разработка вакуумного оборудования
Мы в соц. сетях
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта

Написать нам

Подложкодержатели для вакуумных установок

В установках вакуумного напыления осаждение распыляемого материала происходит на подложки, которые закреплены на подложкодержателе в специальной оснастке для быстрой замены подложек. Задать вопрос специалисту
Подложкодержатели

Подложкодержатели для вакуумных установок в Москве

Подложкодержатели для вакуумных установок

Подложкодержатели делятся на несколько типов:

  • Карусельный подложкодержатель
  • Карусельный подложкодержатель купольного типа
  • Планетарный подложкодержатель
  • Планетарный подложкодержатель купольного типа
  • Плоский держатель подложек, линейное перемещение

Остановимся подробнее на некоторых из них.

Карусельный подложкодержатель

Подложкодержатели для вакуумных установок

В зависимости от расположения подложек и подложкодержателя выбирается форма и размер технологических устройств. Опционально возможно несколько вариантов расположения подложек: на плоском горизонтальном держателе, на цилиндрической оснастке. Напыление реализуется по схеме «снизу вверх» в случае горизонтального расположения подложкодержателя. В данном случае технологические устройства располагаются на нижнем фланце камеры. При размещении в цилиндрической оснастке подложки располагаются вертикально. В этом случае напыление осуществляется преимущественно планарными магнетронами размещённым вдоль оси цилиндра.

Пример конфигурации с карусельным подложкодержателем на 4 подложки. Программа автоматического управления технологическим процессом позволяет наносить многослойные покрытия в любой последовательности на каждую подложку. В данной комплектации 2 DC/RF магнетрона и 1 DC магнетрон. Диаметр мишени магнетронов - 100 мм. Сменная магнитная система позволяет использовать мишень меньшего размера, что особенно важно в напылении драгоценных металлов.

Планетарный подложкодержатель

Подложкодержатели для вакуумных установок

Подложки размещаются на подложкодержателе планетарного типа.

Применение планетарного механизма перемещения подложек в вакуумной напылительной системе позволяет существенно увеличить равномерность напыляемых покрытий. Также перемещение и вращение подложек позволяет более эффективно использовать объем камеры, что увеличивает производительность вакуумной системы. Установка планетарного механизма в вакуумных напылительных системах позволяет наносить покрытия на изделия с осевой симметрией и изделия сложной формы.

Отдельные модификации данной оснастки выдерживают нагрев изделий до 400°С. Опционально предусмотрена возможность подачи смещения на подложкодержатель.

Вакуумная камера имеет D-образную форму, форму многогранника или вертикального цилиндра.

Подложкодержатели для вакуумных установок

Плоский держатель подложек, линейное перемещение

Подложки располагаются на плоском подложкодержателе, который перемещается в технологической камере конвейерным способом. Установки на данной платформе составляются из модулей: технологические и вспомогательные камеры набираются в зависимости от технологии производства и производительности.

Расположение подложки возможно горизонтальное либо вертикальное.

Пример линейной установки конвейерного типа.

Равномерность напыления <0,5% от толщины покрытия по всей площади подложки.

Предварительная подготовка подложек: Дегазация прогревом, Очистка ионным пучком.

ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовольствием проконсультируем Вас.
Наши партнеры
ООО «Рефлакс»

ООО «Рефлакс» предлагает Вам широкий ассортимент высокоэффективных и экономичных газоразрядных ламп высокого давления собственного производства

www.reflux.ru
ЗАО «ИНТЕК АНАЛИТИКА»
Поставка вакуумного и криогенного оборудования с сопутствующими услугами (расчет вакуумных
систем, пуско-наладка, сервисное обслуживание)
www.intech-group.ru
Busch Vacuum Pumps and Systems
Компания Busch Vacuum Pumps and Systems является одним из самых крупных производителей
вакуумных насосов, воздуходувок и компрессоров в мире.
www.buschvacuum.com
Контакты
ООО «Дана Инжиниринг»
Производство и разработка вакуумного оборудования
ПН-ПТ: 10:00-19:00
СБ-ВС: Выходной
111524 Россия Московская область
Москва ул. Перовская, д.1, стр.22
2020, Разработано в