Подложкодержатели для вакуумных установок

Подложкодержатели для вакуумных установок в Москве

Подложкодержатели делятся на несколько типов:

• Карусельный подложкодержатель
• Карусельный подложкодержатель купольного типа
• Планетарный подложкодержатель
• Планетарный подложкодержатель купольного типа
• Плоский держатель подложек, линейное перемещение

Остановимся подробнее на некоторых из них.

Карусельный подложкодержатель

В зависимости от расположения подложек и подложкодержателя выбирается форма и размер технологических устройств. Опционально возможно несколько вариантов расположения подложек: на плоском горизонтальном держателе, на цилиндрической оснастке. Напыление реализуется по схеме «снизу вверх» в случае горизонтального расположения подложкодержателя. В данном случае технологические устройства располагаются на нижнем фланце камеры. При размещении в цилиндрической оснастке подложки располагаются вертикально. В этом случае напыление осуществляется преимущественно планарными магнетронами размещённым вдоль оси цилиндра.

Пример конфигурации с карусельным подложкодержателем на 4 подложки. Программа автоматического управления технологическим процессом позволяет наносить многослойные покрытия в любой последовательности на каждую подложку. В данной комплектации 2 DC/RF магнетрона и 1 DC магнетрон. Диаметр мишени магнетронов - 100 мм. Сменная магнитная система позволяет использовать мишень меньшего размера, что особенно важно в напылении драгоценных металлов.

Планетарный подложкодержатель

Подложки размещаются на подложкодержателе планетарного типа.

Применение планетарного механизма перемещения подложек в вакуумной напылительной системе позволяет существенно увеличить равномерность напыляемых покрытий. Также перемещение и вращение подложек позволяет более эффективно использовать объем камеры, что увеличивает производительность вакуумной системы. Установка планетарного механизма в вакуумных напылительных системах позволяет наносить покрытия на изделия с осевой симметрией и изделия сложной формы.

Отдельные модификации данной оснастки выдерживают нагрев изделий до 400°С. Опционально предусмотрена возможность подачи смещения на подложкодержатель.

Вакуумная камера имеет D-образную форму, форму многогранника или вертикального цилиндра.

Плоский держатель подложек, линейное перемещение

Подложки располагаются на плоском подложкодержателе, который перемещается в технологической камере конвейерным способом. Установки на данной платформе составляются из модулей: технологические и вспомогательные камеры набираются в зависимости от технологии производства и производительности.

Расположение подложки возможно горизонтальное либо вертикальное.

Пример линейной установки конвейерного типа.

Равномерность напыления <0,5% от толщины покрытия по всей площади подложки.

Предварительная подготовка подложек: Дегазация прогревом, Очистка ионным пучком.