Установка вакуумного напыления Fermi в Москве
Установка вакуумного напыления Fermi предназначена для создания напылительного оборудования чистых производств. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования в лабораториях и на мелкосерийном производстве.
Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств, как на боковых стенках и дверях вакуумной камеры, так и на днище.
Особые конфигурации предусматривают шлюзовую загрузочную камеру. При этом подложки размещаются на вращающемся подложкодержателе. Вакуумная камера имеет D-образную форму или форму многогранника.
Установка для вакуумного напыления Fermi в Москве представляет собой значительное достижение для профессионалов в сфере микроэлектроники и оптики. Это высокотехнологичное оборудование, предназначенное для вакуумного покрытия, обладает уникальной кубической D-формой камеры, что создает идеальные условия для равномерного и качественного напыления.
Современная методика нанесения материала снизу-вверх и сбоку обеспечивает высокую точность и отличное качество покрытия. Установка Fermi оснащена передовыми устройствами, включая магнетроны, терморезистивные и электронно-лучевые испарители, а также ионные источники, которые открывают широкие перспективы для реализации различных задач.
Кроме того, планетарный держатель для подложек позволяет одновременно работать с несколькими образцами, что значительно увеличивает общую эффективность. Инвестиции в установку Fermi – это уверенный шаг к успешной реализации ваших задумок и проектов!
Установка вакуумного напыления Fermi 500
|
Технические характеристики:
- 4 технологических устройства: 3 магнетрона, 1 многоячеечный ионный источник, 8-позиционный подложкодержатель
- Диаметр мишени: 50 мм
- Тип мишени: проводящие материалы
- Внутренние габариты вакуумной камеры (ДxШxВ): 500x500x500мм
Область применения:
Напыление многослойных покрытий
различного назначения.
Цена: 22 000 000 руб.
Звоните по т. 8(800)222-90-33, либо отправляйте заявку, и мы подберем решение для Вашего производства!
|
Преимущества установки вакуумного напыления Fermi в Москве
- Возможность использования нескольких устройств в одном технологическом цикле: магнетрон, электронно-лучевой испаритель, терморезистивный испаритель.
- Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
- Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
- Простота модернизации.
Виды установок вакуумного напыления на основе платформы Ферми:
Установка магнетронного напыления Ферми
Вакуумная установка для магнетронного напыления Ферми предназначена для нанесения металлов и других электропроводящих соединений посредством магнетронов с возможностью ионной обработки поверхности и ассистирования.
Установка обеспечивает напыление многослойных покрытий, как по заданной программе, так и в ручном режиме. Конструктивно установка выполнена в виде кубической вакуумной камеры, установленной на монтажной раме. Отдельно устанавливается стандартная 19-ти дюймовая телекоммуникационная стойка с источниками питания, контроллерами и управляющим компьютером, а также чиллер охлаждения.
На вакуумной камере установлена дверь загрузки/выгрузки и обслуживания технологических устройств. Подложки устанавливаются в горизонтально расположенный карусельный подложкодержатель – реализована схема напыления «снизу вверх».
Установка электронно-лучевого напыления оптических покрытий Ферми
Установка электронно-лучевого напыления предназначена для нанесения покрытий посредством электронно-лучевого испарителя. При данном способе нанесения покрытий обеспечивается однородность структуры покрытия (отсутствие дефектов) и равномерность по толщине по всей площади подложки.
Виды оптических покрытий:
- Поляризаторы;
- AR-покрытия;
- Линзы и компоненты камер;
- Цветовые фильтры;
- Интерференционные зеркала;
- Сенсорные экраны.
Особенности:
- Широкополосная система оптического контроля;
- Карусельный и планетарный подложкодержатели;
- Шлюзовая загрузка-выгрузка;
- Безмасляная вакуумная откачка;
- Ручной/автоматический режим;
- Возможность ионно-лучевой очистки и ассистирования;
- Регулируемая зона напыления;
- Сетевое подключение и удаленный доступ;
- ПО собственной разработки (зарегистрировано в реестре ПО Минцифры РФ);
- Простота технического обслуживания.
Установка ионно-лучевого напыления оптических покрытий Ферми
Предназначение - серийное производство высокоточных покрытий компонентов лазерной оптики и гироскопов, элементов, применяемых в метрологии, микроскопии, телекоммуникации.
Виды оптических покрытий:
- Фильтры;
- Поляризаторы с высокой лучевой стойкостью;
- Параметрические покрытия;
- Зеркала с ультранизкими потерями.
Преимущества:
- Широкополосная система оптического контроля;
- Высокая оптическая однородность покрытий;
- Шлюзовая камера загрузки-выгрузки изделий;
- Сниженный уровень натекания газов в вакуумную камеру за счёт использования металлических уплотнений и двойных уплотнений с дифференциальной откачкой;
- Использование периферийных устройств с низким газовыделением;
- Криогенная откачка;
- Низкая зависимость от импортных комплектующих;
- Сетевое подключение и удаленный доступ;
- ПО собственной разработки (зарегистрировано в реестре ПО Минцифры РФ).
Установка магнетронного и терморезистивного испарения Ферми
Установка магнетронного и терморезистивного испарения предназначена для нанесения металлов и органических соединений посредством ПТ/ВЧ магнетронов и терморезистивных испарителей с возможностью термостатирования образцов.
Вакуумная камера герметично пристыкована к перчаточному боксу таким образом, что загрузка/выгрузка подложек осуществляется без разгерметизации на атмосферу. Также вакуумная камера имеет дверь сервисного обслуживания технологических устройств, которая открывается на атмосферу. Подложки устанавливаются в горизонтально расположенный термостатируемый подложкодержатель – реализована схема напыления «снизу вверх».
Технологии
Габариты вакуумной камеры зависят от размера и количества одновременно обрабатываемых подложек, а также от способа их размещения в оснастке. В соответствие с выбранной конфигурацией диаметр вписанной окружности вакуумной камеры может варьироваться от 400 мм до 1000 мм.
Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.
Области применения
- Исследования в области физики твёрдого тела
- Оптика
- Электронное производство
ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовольствием проконсультируем Вас.
