Установка вакуумного напыления Fermi в Москве

Установка вакуумного напыления Fermi предназначена для создания напылительного оборудования чистых производств. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования в лабораториях и на мелкосерийном производстве.
Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств, как на боковых стенках и дверях вакуумной камеры, так и на днище.
Особые конфигурации предусматривают шлюзовую загрузочную камеру. При этом подложки размещаются на вращающемся подложкодержателе. Вакуумная камера имеет D-образную форму или форму многогранника.
Установка вакуумного напыления Fermi 500
|
Технические характеристики:
- 4 технологических устройства: 3 магнетрона, 1 многоячеечный ионный источник, 8-позиционный подложкодержатель
- Диаметр мишени: 50 мм
- Тип мишени: проводящие материалы
- Внутренние габариты вакуумной камеры (ДxШxВ): 500x500x500мм
Область применения:
Напыление многослойных покрытий
различного назначения.
Цена: 10 500 000 руб.
Звоните по т. 8(800)222-90-33, либо отправляйте заявку, и мы подберем решение для Вашего производства!
|
Преимущества установки вакуумного напыления Fermi
- Возможность использования нескольких устройств в одном технологическом цикле: магнетрон, электронно-лучевой испаритель, терморезистивный испаритель.
- Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
- Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
- Простота модернизации.
Технологии
- Магнетронное напыление: постоянный ток/ ВЧ
- Электронно-лучевое испарение
- Резистивное испарение
Габариты вакуумной камеры зависят от размера и количества одновременно обрабатываемых подложек, а также от способа их размещения в оснастке. В соответствие с выбранной конфигурацией диаметр вписанной окружности вакуумной камеры может варьироваться от 400 мм до 1000 мм.
Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.
Области применения
- Исследования в области физики твёрдого тела
- Оптика
- Электронное производство
ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовольствием проконсультируем Вас.