Установка вакуумного напыления Fermi в Москве

Установка вакуумного напыления Fermi предназначена для создания напылительного оборудования чистых производств. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования в лабораториях и на мелкосерийном производстве.

Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств, как на боковых стенках и дверях вакуумной камеры, так и на днище.

Особые конфигурации предусматривают шлюзовую загрузочную камеру. При этом подложки размещаются на вращающемся подложкодержателе. Вакуумная камера имеет D-образную форму или форму многогранника.

Установка вакуумного напыления Fermi 500

Технические характеристики:

4 технологических устройства: 3 магнетрона, 1 многоячеечный ионный источник, 8-позиционный подложкодержатель
Диаметр мишени: 50 мм
Тип мишени: проводящие материалы
Внутренние габариты вакуумной камеры (ДxШxВ): 500x500x500мм

Область применения:

Напыление многослойных покрытий различного назначения.

Цена: 10 500 000 руб.

Звоните по т. 8(800)222-90-33, либо отправляйте заявку, и мы подберем решение для Вашего производства!

Преимущества установки вакуумного напыления Fermi

Возможность использования нескольких устройств в одном технологическом цикле: магнетрон, электронно-лучевой испаритель, терморезистивный испаритель.
Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
Простота модернизации.

Технологии

Магнетронное напыление: постоянный ток/ ВЧ
Электронно-лучевое испарение
Резистивное испарение

Габариты вакуумной камеры зависят от размера и количества одновременно обрабатываемых подложек, а также от способа их размещения в оснастке. В соответствие с выбранной конфигурацией диаметр вписанной окружности вакуумной камеры может варьироваться от 400 мм до 1000 мм.