ГлавнаяПродукция НовостиКонтакты
Производство и разработка вакуумных камер
Мы в соц. сетях
Наш телефон
8 (800) 222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта

Написать нам
Установка вакуумного напыления Fermi
Вакуумная камера Универсальный вакуумный пост Вакуумная установка Вакуумные насосы Вакуумная станция
Всегда готовы помочь

Установка вакуумного напыления Fermi в Москве

16 Мая 2018

Установка вакуумного напыления Fermi предназначена для создания напылительного оборудования чистых производств. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования в лабораториях и на мелкосерийном производстве. Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств, как на боковых стенках и дверях вакуумной камеры, так и на днище. Особые конфигурации предусматривают шлюзовую загрузочную камеру. При этом подложки размещаются на вращающемся подложкодержателе. Вакуумная камера имеет D-образную форму или форму многогранника.

Установка вакуумного напыления Fermi в Москве

Преимущества

  • Возможность использования нескольких устройств в одном технологическом цикле: магнетрон, электронно-лучевой испаритель, терморезистивный испаритель.
  • Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
  • Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
  • Простота модернизации.

Технологии

  • Магнетронное напыление: постоянный ток/ ВЧ
  • Электронно-лучевое испарение
  • Резистивное испарение

Габариты вакуумной камеры зависят от размера и количества одновременно обрабатываемых подложек, а также от способа их размещения в оснастке. В соответствие с выбранной конфигурацией диаметр вписанной окружности вакуумной камеры может варьироваться от 400 мм до 1000 мм.

Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.

Области применения

  • Исследования в области физики твёрдого тела
  • Оптика
  • Электронное производство
ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовльствием проконсультируем Вас.
Контакты
ООО «Дана Инжиниринг»
Производство и разработка вакуумных камер
ПН-ПТ: 10:00-19:00
СБ-ВС: Выходной
111524 Россия Московская область
Москва ул. Перовская, д.1, стр.22
2018, Разработано в