ГлавнаяО компании Продукция Технологии ЦеныКонтакты
Производство и разработка вакуумного оборудования
Мы в соц. сетях
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта

Написать нам

Установка вакуумного напыления Fermi

Область применения: микроэлектроника, оптика.
Тип вакуумной камеры –
D-форма, кубическая.
Напыление: снизу-вверх, сбоку.
Оснастка: планетарный держатель подложек.
Технологические устройства: магнетроны, терморезистивные испарители, электронно-лучевые испарители, ионные источники.

Задать вопрос специалисту
Установка Fermi
Установка вакуумного напыленияВакуумная камераУниверсальный вакуумный постВакуумная установкаВакуумные исследовательские установкиВакуумная станция
Всегда готовы помочь

Установка вакуумного напыления Fermi в Москве

Установка вакуумного напыления Fermi в Москве

Установка вакуумного напыления Fermi предназначена для создания напылительного оборудования чистых производств. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования в лабораториях и на мелкосерийном производстве.

Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств, как на боковых стенках и дверях вакуумной камеры, так и на днище.

Особые конфигурации предусматривают шлюзовую загрузочную камеру. При этом подложки размещаются на вращающемся подложкодержателе. Вакуумная камера имеет D-образную форму или форму многогранника.

Установка вакуумного напыления Fermi 500

Технические характеристики:

  • 4 технологических устройства: 3 магнетрона, 1 многоячеечный ионный источник, 8-позиционный подложкодержатель
  • Диаметр мишени: 50 мм
  • Тип мишени: проводящие материалы
  • Внутренние габариты вакуумной камеры (ДxШxВ): 500x500x500мм

Область применения:

Напыление многослойных покрытий различного назначения.

Цена: 8 500 000 руб.

Звоните по т. 8(800)222-90-33, либо отправляйте заявку, и мы подберем решение для Вашего производства!

Преимущества установки вакуумного напыления Fermi

  • Возможность использования нескольких устройств в одном технологическом цикле: магнетрон, электронно-лучевой испаритель, терморезистивный испаритель.
  • Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
  • Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
  • Простота модернизации.
Установка вакуумного напыления Fermi в Москве Производство установок вакуумного напыления Fermi в Москве Продажа установок вакуумного напыления Fermi в Москве Изготовление установок вакуумного напыления Fermi в Москве

Технологии

  • Магнетронное напыление: постоянный ток/ ВЧ
  • Электронно-лучевое испарение
  • Резистивное испарение

Габариты вакуумной камеры зависят от размера и количества одновременно обрабатываемых подложек, а также от способа их размещения в оснастке. В соответствие с выбранной конфигурацией диаметр вписанной окружности вакуумной камеры может варьироваться от 400 мм до 1000 мм.

Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.

Области применения

  • Исследования в области физики твёрдого тела
  • Оптика
  • Электронное производство
ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовольствием проконсультируем Вас.
Наши партнеры
ООО «Рефлакс»

ООО «Рефлакс» предлагает Вам широкий ассортимент высокоэффективных и экономичных газоразрядных ламп высокого давления собственного производства

www.reflux.ru
ЗАО «ИНТЕК АНАЛИТИКА»
Поставка вакуумного и криогенного оборудования с сопутствующими услугами (расчет вакуумных
систем, пуско-наладка, сервисное обслуживание)
www.intech-group.ru
Busch Vacuum Pumps and Systems
Компания Busch Vacuum Pumps and Systems является одним из самых крупных производителей
вакуумных насосов, воздуходувок и компрессоров в мире.
www.buschvacuum.com
Контакты
ООО «Дана Инжиниринг»
Производство и разработка вакуумного оборудования
ПН-ПТ: 10:00-19:00
СБ-ВС: Выходной
111524 Россия Московская область
Москва ул. Перовская, д.1, стр.22
2019, Разработано в