Установка вакуумного напыления Fermi в Москве

Установка вакуумного напыления Fermi предназначена для создания напылительного оборудования чистых производств. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования в лабораториях и на мелкосерийном производстве.

Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств, как на боковых стенках и дверях вакуумной камеры, так и на днище.

Особые конфигурации предусматривают шлюзовую загрузочную камеру. При этом подложки размещаются на вращающемся подложкодержателе. Вакуумная камера имеет D-образную форму или форму многогранника.

Преимущества установки вакуумного напыления Fermi
Технологии установки вакуумного напыления Fermi
Области применения установки вакуумного напыления Fermi

Установка вакуумного напыления Fermi 500

Технические характеристики:

4 технологических устройства: 3 магнетрона, 1 многоячеечный ионный источник, 8-позиционный подложкодержатель
Диаметр мишени: 50 мм
Тип мишени: проводящие материалы
Внутренние габариты вакуумной камеры (ДxШxВ): 500x500x500мм

Область применения:

Напыление многослойных покрытий различного назначения.

Цена: 17 850 000 руб.

Звоните по т. 8(800)222-90-33, либо отправляйте заявку, и мы подберем решение для Вашего производства!

Преимущества установки вакуумного напыления Fermi

Возможность использования нескольких устройств в одном технологическом цикле: магнетрон, электронно-лучевой испаритель, терморезистивный испаритель.
Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
Простота модернизации.

Виды установок вакуумного напыления на основе платформы Ферми:

Установка магнетронного напыления Ферми;
Установка электронно-лучевого напыления оптических покрытий Ферми;
Установка ионно-лучевого напыления оптических покрытий Ферми;
Установка магнетронного и терморезистивного испарения Ферми.

Установка магнетронного напыления Ферми

Вакуумная установка для магнетронного напыления Ферми предназначена для нанесения металлов и других электропроводящих соединений посредством магнетронов с возможностью ионной обработки поверхности и ассистирования.

Установка обеспечивает напыление многослойных покрытий, как по заданной программе, так и в ручном режиме. Конструктивно установка выполнена в виде кубической вакуумной камеры, установленной на монтажной раме. Отдельно устанавливается стандартная 19-ти дюймовая телекоммуникационная стойка с источниками питания, контроллерами и управляющим компьютером, а также чиллер охлаждения.

На вакуумной камере установлена дверь загрузки/выгрузки и обслуживания технологических устройств. Подложки устанавливаются в горизонтально расположенный карусельный подложкодержатель – реализована схема напыления «снизу вверх».

Установка магнетронного напыления

Установка электронно-лучевого напыления оптических покрытий Ферми

Установка электронно-лучевого напыления предназначена для нанесения покрытий посредством электронно-лучевого испарителя. При данном способе нанесения покрытий обеспечивается однородность структуры покрытия (отсутствие дефектов) и равномерность по толщине по всей площади подложки.

Виды оптических покрытий:

Поляризаторы;
AR-покрытия;
Линзы и компоненты камер;
Цветовые фильтры;
Интерференционные зеркала;
Сенсорные экраны.

Особенности:

Широкополосная система оптического контроля;
Карусельный и планетарный подложкодержатели;
Шлюзовая загрузка-выгрузка;
Безмасляная вакуумная откачка;
Ручной/автоматический режим;
Возможность ионно-лучевой очистки и ассистирования;
Регулируемая зона напыления;
Сетевое подключение и удаленный доступ;
ПО собственной разработки (зарегистрировано в реестре ПО Минцифры РФ);
Простота технического обслуживания.

Установка электронно-лучевого напыления

Установка ионно-лучевого напыления оптических покрытий Ферми

Предназначение - серийное производство высокоточных покрытий компонентов лазерной оптики и гироскопов, элементов, применяемых в метрологии, микроскопии, телекоммуникации.

Виды оптических покрытий:

Фильтры;
Поляризаторы с высокой лучевой стойкостью;
Параметрические покрытия;
Зеркала с ультранизкими потерями.

Преимущества:

Широкополосная система оптического контроля;
Высокая оптическая однородность покрытий;
Шлюзовая камера загрузки-выгрузки изделий;
Сниженный уровень натекания газов в вакуумную камеру за счёт использования металлических уплотнений и двойных уплотнений с дифференциальной откачкой;
Использование периферийных устройств с низким газовыделением;
Криогенная откачка;
Низкая зависимость от импортных комплектующих;
Сетевое подключение и удаленный доступ;
ПО собственной разработки (зарегистрировано в реестре ПО Минцифры РФ).

Установка ионно-лучевого напыления

Установка магнетронного и терморезистивного испарения Ферми

Установка магнетронного и терморезистивного испарения предназначена для нанесения металлов и органических соединений посредством ПТ/ВЧ магнетронов и терморезистивных испарителей с возможностью термостатирования образцов.

Вакуумная камера герметично пристыкована к перчаточному боксу таким образом, что загрузка/выгрузка подложек осуществляется без разгерметизации на атмосферу. Также вакуумная камера имеет дверь сервисного обслуживания технологических устройств, которая открывается на атмосферу. Подложки устанавливаются в горизонтально расположенный термостатируемый подложкодержатель – реализована схема напыления «снизу вверх».

Установка магнетронного и терморезистивного испарения

Технологии

Габариты вакуумной камеры зависят от размера и количества одновременно обрабатываемых подложек, а также от способа их размещения в оснастке. В соответствие с выбранной конфигурацией диаметр вписанной окружности вакуумной камеры может варьироваться от 400 мм до 1000 мм.