Область применения: лаборатории, мелкосерийное производство.
Тип вакуумной камеры – цилиндр с возмож- ностью вертикального перемещения.
Напыление: снизу-вверх.
Оснастка: карусельный держатель подложек.
Технологические устройства: магнетроны, терморезистивные испарители.
Область применения: микроэлектроника, оптика.
Тип вакуумной камеры –
D-форма, кубическая.
Напыление: снизу-вверх, сбоку.
Оснастка: планетарный держатель подложек.
Технологические устройства: магнетроны, терморезистивные испарители, электронно-лучевые испарители, ионные
источники.
Область применения: машиностроение, декоративное производство.
Тип вакуумной камеры – D-форма, одно- двухдверный многогранник.
Напыление: сбоку.
Оснастка: планетарный держатель подложек.
Технологические устройства: протяженные магнетроны, вакуумно-дуговые испарители, ионные источники.
Область применения: машиностроение, деко- ративное производство, приборостроение, оптика, микроэлектроника.
Тип вакуумной камеры – многокамерная секционная со шлюзом загрузки/выгрузки.
Напыление: сбоку.
Оснастка: плоский держатель подложек, линейное перемещение.
Технологические устройства: протяженные магнетроны, вакуумно-дуговые испарители, ионные источники.
Существует множество способов получения покрытий в вакууме:
Данные способы являются разновидностями физического распыления. Вышеперечисленные методы позволяют получить покрытие по составу идентичное материалу мишени. Помимо чисто физических способов распыления существуют комбинированные методы химического и плазменного осаждения. В данном случае покрытие по химическому составу отличается от материала мишени вследствие реакций в плазме либо на поверхности подложки.
Вакуумные установки для несений покрытий активно используются в таких отраслях как: оптическое приборостроение, микроэлектроника, машиностроение.
Нанесение покрытий на детали оптических приборов является сложной инженерной задачей. Высокие требования, предъявляемые к технологическим устройствам и оснастке обусловлены характеристиками получаемых плёнок. Вакуумная технологическая установка должна иметь как можно меньшие потоки реальных и виртуальных течей. Равномерность покрытий по толщине достигается правильным расположением технологических устройств в камере и самих напылительных устройств. Качестве покрытий, адгезия и химический состав в случае реактивных покрытий достигается ионным ассистированием
Как правило установки вакуумного напыления оснащены одновременно несколькими устройствами: магнетрон, вакуумно-дуговой испаритель, ионный ускоритель для очистки поверхности, либо термический или электронно-лучевой испаритель.
Компания Дана Инжиниринг предлагает вакуумное оборудование для нанесение любых покрытий, которое характеризуется высокой чистотой процессов и низким содержанием растворённых газов. Мы реализуем свою продукцию как в Москве так и по всей территории РФ. Звоните
Вакуумная техника для промышленности и исследований, термическое оборудование, криогенная техника, оборудование для полупроводниковых производств, аналитическое оборудование, воздуходувки
ООО «Рефлакс» предлагает Вам широкий ассортимент высокоэффективных и экономичных газоразрядных ламп высокого давления собственного производства