Производство и разработка вакуумных камер
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта
[email protected]

 

Производство и разработка вакуумных камер
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта
[email protected]

 

Установка вакуумного напыления

Установка вакуумного напыления предназначена для нанесения тонких плёнок металлов, оксидов, различных керамик и интерметаллидов на поверхность обрабатываемого материала. Процесс напыления может происходить при различном давлении: от форвакуума до высокого вакуума. С точки зрения получения осаждаемого вещества метод вакуумного напыления относится к физическому распылению (PVD) либо является комбинацией химического осаждения и ионизационных процессов. 

Установка вакуумного напыления

Установка вакуумного напыления в Москве

Существует множество способов получения покрытий в вакууме:

Данные способы являются разновидностями физического распыления. Вышеперечисленные методы позволяют получить покрытие по составу идентичное материалу мишени. Помимо чисто физических способов распыления существуют комбинированные методы химического и плазменного осаждения. В данном случае покрытие по химическому составу отличается от материала мишени вследствие реакций в плазме либо на поверхности подложки.

Вакуумные установки для несений покрытий активно используются в таких отраслях как: оптическое приборостроение, микроэлектроника, машиностроение.

Вакуумно-плазменные технологии нанесения покрытий позволяют получить покрытия в особо чистых условиях с характеристиками, превосходящими более традиционные гальванические.
Если ваша компания разрабатывает покрытия с заданными характеристиками и необходимо подобрать и адаптировать оборудование для этих целей, то несомненно мы сможем проявить наиболее гибкий подход в самые сжатые сроки.

Saha
Fermi
Kepler
Метод нанесения покрытий
Магнетронное распыление – постоянного тока, импульсное, ВЧ-магнетрон/ электронно-лучевое распыление/ термическое испарение, вакуумно-дуговое испарение/ плазмохимическое осаждение/ ионно-лучевое распыление
Материалы покрытий
Металлы, оксиды, керамики
Области применения
Оптика, микроэлектроника, лабораторные установки
Оптика, микроэлектроника, машиностроение
Оптика, микроэлектроника, машиностроение
Ассистирование ионным пучком
Опционально
Опционально
Опционально
Ассистирование источником радикалов
Опционально
Опционально
Опционально
Форма вакуумной камеры
Цилиндр: горизонатльно/ вертикально
D-образная
Многогранник/ D-образная
Загрузка подложек
Элеваторная/ шахтная
Дверь
Дверь/ 2 двери с двух сторон
Размеры камеры
Диаметр вписанной окружности, мм
200-600
300-700
500-1200
Высота, мм
До 1200
1200
1500
Материал камеры
Нержавеющая сталь 12Х18Н10Т, AISI 321, AISI 304
Подложкодержатель
Одиночный/ Многопозиционный/ Планетарный
Смещение на подложкодержателе в режиме постоянного тока
1500 В, мощность до 30 КВт
ВЧ-смещение на подложкодержателе
13,56 МГц, мощность до 1,5 КВт
Откачка 
Форвакуумная ступень - сухая
Спиральный насос
Спиральный/ винтовой насос
Спиральный/ Винтовой насос/ откачной агрегат на основе насоса Руттса
Высоковакуумная  ступень - сухая   
Турбо-молекулярный
Турбомолекулярный/ криогенный
Турбо-молекулярный/ криогенный
Охлаждение
Промышленный чиллер
Компоновка
Моноблок
Моноблок
Раздельная: установка и шкаф электроники

Вакуумно-плазменные технологии нанесения покрытий позволяют получить покрытия в особо чистых условиях с характеристиками, превосходящими более традиционные гальванические.
Если ваша компания разрабатывает покрытия с заданными характеристиками и необходимо подобрать и адаптировать оборудование для этих целей, то несомненно мы сможем проявить наиболее гибкий подход в самые сжатые сроки.

Вакуумная установка для нанесения оптических покрытий серии Fermi

Нанесение тонких плёнок для улучшения характеристик оптических элементов используется многие десятки лет. Тенденция развития оптического приборостроения и оптоэлектроники такова, что требования к количеству и качеству слоёв интерференционных тонкоплёночных покрытий всё больше ужесточаются.

Интерференционные покрытия применяют для получения высоких коэффициентов отражения (зеркальные покрытия), для увеличения пропускания и контрастности (просветляющие покрытия), для спектрального и энергетического разделения и сложения оптических сигналов и их хроматической коррекции (узко- и широкополосные отрезающие фильтры), для изменения поляризации излучения (интерференционные поляризаторы). На современном этапе прослеживается тенденция формирования оптических покрытий не только с необходимыми оптическими характеристиками, но и с высокими эксплуатационными параметрами: стойкостью к лазерному излучению, к деградации под действием внешних условий эксплуатации и временной стабильностью

Общий вид вакуумной установки

Вакуумная камера с напылительными устройствами. Вариант с электронно-лучевыми источниками и кассетой из трёх тиглей резистивных испарителей

Нанесение покрытий на детали оптических приборов является сложной инженерной задачей. Высокие требования, предъявляемые к технологическим устройствам и оснастке обусловлены характеристиками получаемых плёнок. Вакуумная технологическая установка должна иметь как можно меньшие потоки реальных и виртуальных течей. Равномерность покрытий по толщине достигается правильным расположением технологических устройств в камере и самих напылительных устройств. Качестве покрытий, адгезия и химический состав в случае реактивных покрытий достигается ионным ассистированием

Как правило установки вакуумного напыления оснащены одновременно несколькими устройствами: магнетрон, вакуумно-дуговой испаритель, ионный ускоритель для очистки поверхности, либо термический или электронно-лучевой испаритель.

Компания Дана Инжиниринг предлагает вакуумное оборудование для нанесение любых покрытий, которое характеризуется высокой чистотой процессов и низким содержанием растворённых газов. Мы работаем как в Москве так и в Московской области. Звоните

Наши партнеры

МЭЛЗ-ИНВЕСТ

Решение нестандартных инженерных задач от идеи до монтажа.

MSH Techno

Вакуумная техника для промышленности и исследований, термическое оборудование, криогенная техника, оборудование для полупроводниковых производств, аналитическое оборудование, воздуходувки

ООО «Рефлакс»

ООО «Рефлакс» предлагает Вам широкий ассортимент высокоэффективных и экономичных газоразрядных ламп высокого давления собственного производства

Контакты

"Дана Инжиниринг"

8(800)222-90-33



111524, Россия

Московская область

Москва

ул. Перовская, д.1, стр.22

Оставьте заявку

По указанному электронному адресу Вам будет отправлен файл каталога вакуумной арматуры Получить консультацию