Установка вакуумного напыления Saha

Установка вакуумного напыления Saha предназначена для создания малогабаритного напылительного оборудования. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования в лабораториях и на мелкосерийном производстве. Ключевой особенностью данной платформы является размещение подложек и технологических устройств внутри вакуумной камеры, при котором значительно упрощается технологическое обслуживание и загрузка-выгрузка. Данное решение реализовано с помощью цилиндрической вакуумной камеры колпакового типа, перемещаемой вертикально вдоль своей оси.

Преимущества

• Полный всесторонний доступ к напылительным устройствам и подложкам.
• Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
• Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
• Использование только «сухих» вакуумных насосов: спиральный и турбомолекулярный.
• Возможность использования нескольких технологических устройств: магнетрон, электронно-лучевая распылительная система, резистивное термическое испарение.
• Гибкость при модернизации установки.

Опционально возможно несколько вариантов расположения подложек: на плоском горизонтальном держателе, на цилиндрической оснастке. В зависимости от расположения подложек и подложкодержателя выбирается форма и размер технологических устройств. В случае горизонтального подложкодержателя технологические устройства располагаются на нижнем фланце камеры. Напыление реализуется по схеме «снизу вверх». При размещении в цилиндрической оснастке подложки располагаются вертикально. В этом случае напыление осуществляется только планарными магнетронами размещённым вдоль оси цилиндра.

Размеры вакуумной камеры зависят от размера и количества одновременно обрабатываемых подложек, а также от их расположения. В соответствие с выбранной конфигурацией диаметр вакуумной камеры может быть от 250 мм до 600 мм.

При использовании цилиндрических торцевых магнетронов возможно распыление диэлектриков в высокочастотном режиме при частоте 13,56 МГц. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.

Области применения

• Электроника
• Оптическое производство
• Научные исследования

Лабораторная напылительная установка на платформе Saha
Рис.1. Напыление по схеме «снизу-вверх». Плоские цилиндрические магнетроны.	Рис.2. Горизонтальное размещение подложек. Планарные протяжённые магнетроны.