Производство и разработка вакуумных камер
Мы в соц. сетях
facebook-icon instagram-icon
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта
info@danaeng.ru

 

Производство и разработка вакуумных камер
Мы в соц. сетях
facebook-icon instagram-icon
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта
info@danaeng.ru

 

Установка вакуумного напыления Kurchatov в Москве

Установка вакуумного напыления Kurchatov в Москве

Установка вакуумного напыления Kurchatov предназначена для создания высокопроизводительного напылительного оборудования. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования на в серийном и крупносерийном производстве. Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств на боковых стенках вакуумной камеры в специальных откидывающихся отсеках, при котором значительно упрощается смена мишеней и обслуживание технологических устройств. Подложки располагаются на плоском подложкодержателе, который перемещается в технологической камере по принципу конвейера. Установки на данной платформе строятся по модульному принципу: технологические и вспомогательные камеры набираются в зависимости от технологии производства.

Установка вакуумного напыления Kurchatov в Москве

Преимущества

  • Высокая производительность
  • Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304
  • Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки
  • Возможность использования нескольких технологических устройств: магнетрон, вакуумно-дуговой испаритель.
  • Гибкость при модернизации установки

В установках платформы Kurchatov используются магнетроны, вакуумно-дуговые испарители и ионные источники протяжённой геометрии. Катоды технологических устройств выполняются как плоскими, так и цилиндрическими.

Предусмотрен нагрев подложек на всём пути их следования: от шлюзовой камеры до конца технологической.

Габариты вакуумной камеры зависят от размера зоны равномерности напыления на подложку. В зависимости от размеров технологических устройств выбираются способы контроля и управления равномерностью напыления.

Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.

Области применения

  • машиностроение
  • декоративное производство
  • приборостроение
  • оптика
  • микроэлектроника

Наши партнеры

МЭЛЗ-ИНВЕСТ

Решение нестандартных инженерных задач от идеи до монтажа.

MSH Techno

Вакуумная техника для промышленности и исследований, термическое оборудование, криогенная техника, оборудование для полупроводниковых производств, аналитическое оборудование, воздуходувки

ООО «Рефлакс»

ООО «Рефлакс» предлагает Вам широкий ассортимент высокоэффективных и экономичных газоразрядных ламп высокого давления собственного производства

Контакты

"Дана Инжиниринг"

8(800)222-90-33



111524, Россия

Московская область

Москва

ул. Перовская, д.1, стр.22

Оставьте заявку

По указанному электронному адресу Вам будет отправлен файл каталога вакуумной арматуры Получить консультацию