Производство и разработка вакуумных камер
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта
[email protected]

 

Производство и разработка вакуумных камер
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта
[email protected]

 

Термическое распыление в Москве

Оборудование для термическое распыления в Москве.
Доставка по всей территории Московской области

Метод термического распыления является одним из наиболее известных и доступных. Технология получила своё распространение для изготовления зеркал. В настоящее время термическое испарение широко применяется как в лабораторных, так и в промышленных целях. Данный метод характеризуется экономичностью, простотой реализации и управления. Метод термического распыления применяется для относительно легкоплавких металлов.

Термическое распыление в Москве

Термическое распыление

Термическое распыление в Москве

Все вещества в зависимости от температуры нагрева могут находиться в одном из трех фазовых (агрегатных) состояний: твердом, жидком или газообразном (парообразном

Условной, практически установленной температурой испарения считается температура, при которой давление насыщенного пара вещества составляет приблизительно 1,3 Па.

Некоторые вещества имеют температуру испарения ниже температуры плавления, те. они достаточно интенсивно испаряются из твердого состояния. Процесс перехода вещества из твердого состояния в парообразное, минуя жидкую фазу, называют сублимацией (возгонкой).

Двигаясь от испарителя к подложке с энергией, молекула при столкновении с подложкой отдает ей часть своей энергии. Другую часть своей энергии молекула тратит на миграцию по поверхности подложки, теряя постепенно эту энергию и стремясь к тепловому равновесию с подложкой, в то же время миграция молекулы вдоль подложки происходит в потенциальном поле, рельеф которого характеризуется наличием "бугров" и "ям" и представляет собой распределение сил связи (сил Ван-дер-Ваальса) по поверхности подложки.

Резистивным нагревом называют нагрев электропроводящего тела, обладающего высоким электрическим сопротивлением при прохождении через него электрического тока.

Достоинства резистивного нагрева - высокий КПД, низкая стоимость оборудования, безопасность в работе и малые габаритные размеры. Факторами, ограничивающими применение испарителей с резистивным нагревом являются возможность загрязнения наносимой пленки материалом нагревателя, а также

малый ресурс работы из-за старения (разрушения) нагревателя, что требует его периодической замены.

Испарители этого типа различных конструктивных вариантов могут быть с непосредственным или с косвенным нагревом испаряемого вещества.

Материалы, используемые для изготовления испарителей, должны отвечать следующим требованиям:

  • испаряемость материала испарителя при температуре испаряемого вещества должна быть пренебрежимо малой;
  • для хорошего теплового контакта материал испарителя должен хорошо смачиваться расплавленным испаряемым веществом;
  • между материалом испарителя и испаряемым веществом не должны происходить никакие химические реакции, так как это приводит к загрязнению наносимых пленок и разрушению испарителей.

В испарителях с непосредственным нагревом ток в несколько десятков ампер проходит непосредственно через испаряемый материал. Такой метод испарения может быть применен только для сублимирующихся материалов, т.е. металлов, температура плавления которых выше температуры испарения

Основное достоинство этих испарителей - отсутствие теплового контакта между их нагретыми элементами и испаряемым металлом, что обеспечивает высокую чистоту наносимой пленки. Однако они обеспечивают низкую скорость испарения, дают возможность испарять малое количество материала, который может быть использован только в виде ленты или проволоки, а также не позволяет испарять диэлектрики и большинство металлов.

Мы так же можем предложить вакуумные установки для напыления тонких пленок другимими методами:

Магнетронное напыление

Вакуумно-дуговое осаждение

Наши партнеры

МЭЛЗ-ИНВЕСТ

Решение нестандартных инженерных задач от идеи до монтажа.

MSH Techno

Вакуумная техника для промышленности и исследований, термическое оборудование, криогенная техника, оборудование для полупроводниковых производств, аналитическое оборудование, воздуходувки

ООО «Рефлакс»

ООО «Рефлакс» предлагает Вам широкий ассортимент высокоэффективных и экономичных газоразрядных ламп высокого давления собственного производства

Контакты

"Дана Инжиниринг"

8(800)222-90-33



111524, Россия

Московская область

Москва

ул. Перовская, д.1, стр.22

Оставьте заявку

По указанному электронному адресу Вам будет отправлен файл каталога вакуумной арматуры Получить консультацию