Производство и разработка вакуумных камер
Мы в соц. сетях
facebook-icon instagram-icon
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта
info@danaeng.ru

 

Производство и разработка вакуумных камер
Мы в соц. сетях
facebook-icon instagram-icon
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта
info@danaeng.ru

 

Установка вакуумного напыления Kepler в Москве

Установка вакуумного напыления Kepler в Москве

Установка вакуумного напыления Kepler предназначена для создания крупногабаритного напылительного оборудования. Установки, построенные на данной платформе, предназначены для использования на мелкосерийном и серийном производстве. Ключевой особенностью данной платформы является размещение технологических устройств на боковых стенках и дверях вакуумной камеры, при котором значительно упрощается обслуживание технологических устройств. При этом подложки размещаются на подложкодержателе планетарного типа. Вакуумная камера имеет форму многогранника или вертикального цилиндра.

Установка вакуумного напыления Kepler в Москве

Преимущества

  • Высокая производительность.
  • Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304.
  • Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки.
  • Возможность использования нескольких технологических устройств: магнетрон, вакуумно-дуговой испаритель.
  • Гибкость при модернизации установки.

В установках платформы Kepler используются магнетроны, вакуумно-дуговые испарители и ионные источники протяжённой геометрии. Катоды технологических устройств выполняются как плоскими, так и цилиндрическими.

Габариты вакуумной камеры зависят от размера и количества одновременно обрабатываемых подложек, а также от способа их размещения в оснастке. В соответствие с выбранной конфигурацией диаметр вписанной окружности вакуумной камеры может варьироваться от 700 мм до 2000 мм.

Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.

Области применения

  • Машиностроение
  • Производство фурнитуры и декоративных изделий

Установка вакуумного напыления Kepler Fermi в Москве

Наши партнеры

МЭЛЗ-ИНВЕСТ

Решение нестандартных инженерных задач от идеи до монтажа.

MSH Techno

Вакуумная техника для промышленности и исследований, термическое оборудование, криогенная техника, оборудование для полупроводниковых производств, аналитическое оборудование, воздуходувки

ООО «Рефлакс»

ООО «Рефлакс» предлагает Вам широкий ассортимент высокоэффективных и экономичных газоразрядных ламп высокого давления собственного производства

Контакты

"Дана Инжиниринг"

8(800)222-90-33



111524, Россия

Московская область

Москва

ул. Перовская, д.1, стр.22

Оставьте заявку

По указанному электронному адресу Вам будет отправлен файл каталога вакуумной арматуры Получить консультацию