ГлавнаяО компании Продукция Технологии ЦеныКонтакты
Производство и разработка вакуумных установок и камер
Мы в соц. сетях
Наш телефон
8 (800) 222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта

Написать нам
Компания ООО «Дана Инжиниринг» одержала победу в конкурсе «Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий» на выставке VacuumTechExpo 2019

Компания ООО «Дана Инжиниринг» одержала победу в конкурсе «Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий» на выставке VacuumTechExpo 2019

30 Апреля 2019

Компания ООО «Дана Инжиниринг» одержала победу в конкурсе «Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий» на выставке VacuumTechExpo 2019

В рамках VacuumTechExpo 2019 прошёл 10-й юбилейный конкурс на лучший инновационный продукт среди компаний, занимающихся разработкой, дистрибуцией и инжинирингом вакуумного, криогенного оборудования.

Компания ООО «Дана Инжиниринг» в рамках конкурса представила разработанную нашими инженерами-конструкторами вакуумную напылительную установку Kurchatov.

Установка ориентирована для использования на серийном и крупносерийном производстве. Данная установка построена по принципу in line: последовательное расположение загрузочной, шлюзовой и технологических камер. Ключевой особенностью данной установки является размещение технологических устройств на боковых стенках вакуумной камеры в специальных откидывающихся отсеках, при котором значительно упрощается смена мишеней и обслуживание технологических устройств. Подложки располагаются на плоском подложкодержателе, который линейно перемещается в технологической камере. Установка состоит из модулей: технологические и вспомогательные камеры набираются в зависимости от технологии производства и производительности.

Вакуумная установка Kurchatov в Москве

Преимущества

  • Высокая производительность
  • Все элементы вакуумной системы изготовлены из немагнитной нержавеющей стали марок 12Х18Н10Т/AISI321, 08Х18Н10/ AISI304
  • Поверхности, обращённые к вакууму, обработаны до шероховатости Ra0,8, что гарантирует минимальную дегазацию и, как следствие, сниженное время откачки
  • Возможность использования нескольких технологических устройств: магнетрон, вакуумно-дуговой испаритель, ионный источник
  • Гибкость при модернизации установки
  • Использование безмасляных средств откачки
  • Многоканальный контроль равномерности напыления и состава плазмы

В установках платформы Kurchatov используются магнетроны, вакуумно-дуговые испарители и ионные источники протяжённой геометрии. Катоды технологических устройств выполняются как плоскими, так и цилиндрическими.

Предусмотрен нагрев подложек на всём пути их следования: от шлюзовой камеры до конца технологической.

Габариты вакуумной камеры зависят от размера зоны равномерности напыления на подложку. В зависимости от размеров технологических устройств выбираются способы контроля и управления равномерностью напыления.

Наносимые покрытия: металлы, оксиды, нитриды, карбиды. Также возможно распыление ферромагнетиков магнетронами с усиленной магнитной системой.

Области применения

  • машиностроение
  • декоративное производство
  • приборостроение
  • оптика
  • микроэлектроника

 

По итогам конкурса «Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий» победителем стала компания «Дана Инжиниринг»!

Диплом «Лучший инновационный продукт в сфере высоких технологий&raquo

ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовольствием проконсультируем Вас.
Контакты
ООО «Дана Инжиниринг»
Производство и разработка вакуумных установок и камер
ПН-ПТ: 10:00-19:00
СБ-ВС: Выходной
111524 Россия Московская область
Москва ул. Перовская, д.1, стр.22
2019, Разработано в