ГлавнаяО компании Продукция Технологии ЦеныКонтакты
Производство и разработка вакуумного оборудования
Мы в соц. сетях
Наш телефон
8(800)222-90-33
с 10 до 19 часов по МСК
Электронная почта

Написать нам
Реализована вакуумная установка электронно-лучевого распыления

Реализована вакуумная установка электронно-лучевого распыления

30 Января 2020

В январе 2020 года инженеры компании «Дана Инжиниринг» реализовали новый проект по индивидуальному техническому заданию.

Установка вакуумного напыления Fermi 1000 предназначена для нанесения различных покрытий на оптические изделия.

Ионный источник типа End Hall      Вакуумная установка для нанесения покрытий на оптические изделия

Высокая равномерность покрытия по толщине 2% достигается за счет сферического планетарного подложкодержателя. Также перемещение и вращение подложек позволяет более эффективно использовать объем камеры, что увеличивает производительность вакуумной системы.

Криогенная откачка позволяет проводить процесс при высоком вакууме 10-6мбар.

Перед началом процесса проводится обезгаживание путем прогрева до 200°С.

Очистка и активация поверхности перед напылением осуществляется ионным источником. Также во время проведения процесса возможно ассистирование End-Hall.

Планетарный подложкодержатель купольного типа     Электронно-лучевое напыление

За счет ионного ассистирования покрытие получается более плотным и имеет более однородные свойства по толщине, лучшую адгезию и меньшее внутреннее напряжение.

После введения в эксплуатацию производительность установки выросла в 2 раза по сравнению с предыдущей установкой. Улучшились оптические показатели, улучшилась адгезия. Надежность установки обеспечивается автоматикой. Выполнена система защиты от ошибок оператора.

ОСТАЛИСЬ ВОПРОСЫ ИЛИ НУЖНА КОНСУЛЬТАЦИЯ?
Оставьте свой вопрос или позвоните нам по телефону, и мы с удовольствием проконсультируем Вас.
Контакты
ООО «Дана Инжиниринг»
Производство и разработка вакуумного оборудования
ПН-ПТ: 10:00-19:00
СБ-ВС: Выходной
111524 Россия Московская область
Москва ул. Перовская, д.1, стр.22
2020, Разработано в